leyu体育 微芯长江苦求基于等离子体活化的碳化硅基材名义弱势设备与钝化工艺专利, 莳植电学性能

国度学问产权局信息显现，安徽微芯长江半导体材料有限公司苦求一项名为“一种基于等离子体活化的碳化硅基材名义弱势设备与钝化工艺”的专利，公开号CN121398559A，苦求日历为2025年10月。

专利摘要显现，本发明波及半导体时刻边界，公开一种基于等离子体活化的碳化硅基材名义弱势设备与钝化工艺，旨在处治现存SiC基材弱势设备与钝化工艺复杂、设备恶果欠佳及性能影响等问题。该措施包括：对SiC基材预处理，于等离子体腔室中抽真空加热；通入活化气体，酿成等离子体活化基材名义；引入设备先行者体，在等离子体提拔下填充弱势并促进晶格重构；继而引入钝化先行者体，在等离子体提拔下酿成细巧钝化层。该系统包括：预处理单位、等离子体反映腔室、气体先行者体供给单位、等离子体源、真空泵组、加热装配及经过适度系统。本苦求通过罗致上述决策，可竣事SiC基材深档次、全面弱势设备与钝化，简化工艺，莳植电学性能、介电强度及环境表现性，并通过原位监测与反馈适度提高工艺精准性与表现性。

天眼查贵寓显现，安徽微芯长江半导体材料有限公司，确立于2020年，位于铜陵市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册成本89000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，安徽微芯长江半导体材料有限公司参与招投标名堂24次，财产印迹方面有商标信息6条，专利信息174条，此外企业还领有行政许可9个。

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