乐鱼体育 长光圆辰肯求减少等离子体毁伤的低功率刻蚀方法专利, 达到减少等离子体毁伤并擢升刻蚀均匀性的成果

国度常识产权局信息流露，长春长光圆辰微电子期间有限公司肯求一项名为“一种用于减少等离子体毁伤的低功率刻蚀方法”的专利，公开号CN121398471A，肯求日历为2025年12月。

专利摘抄流露，本肯求触及半导体刻蚀期间限度，本肯求提供一种用于减少等离子体毁伤的低功率刻蚀方法，其特征在于，包括：提供待刻蚀基板于等离子体解决安设的腔室内，所述待刻蚀基板名义至少包含待刻蚀层和掩模层；向所述腔室内通入工艺气体；施加脉冲化的源功率以在所述腔室内产生等离子体，所述脉冲化的源功率包括瓜代的开启时段和关闭时段；在所述开启时段，向所述基板施加偏置功率；建设刻蚀模子并领受遗传算法得到最好刻蚀参数组合；行使所述等离子体对所述待刻蚀层进行刻蚀。本肯求通过领受脉冲化源功率和遗传算法优化刻蚀参数，达到减少等离子体毁伤并擢升刻蚀均匀性的成果。

天眼查云尔流露，长春长光圆辰微电子期间有限公司，竖立于2016年，位于长春市，是一家以从事计较机、通讯和其他电子开辟制造业为主的企业。企业注册本钱41000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，长春长光圆辰微电子期间有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标景况25次，财产陈迹方面有商标信息26条，专利信息70条，此外企业还领有行政许可7个。

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